随着科学技术的高度发达,越来越多的应用领域发展也在逐渐借助技术的力量,获得更长远的进步。其中作为射频和微波测试的重要接插件和端口的类型,波导的应用领域十分广泛。在矢量网络分析仪的测试应用当中,波导接口,尤其是矩形波导类型是常见接口之一。矢量网络分析仪的校准,是保证测试准确度的前提和必要条件。
近日,罗德与施瓦茨发布了提供用于晶圆上DUT的完整射频性能表征的测试解决方案,该解决方案将强大的罗德与施瓦茨R&S ZNA矢量网络分析仪与来自FormFactor的行业领先的工程探针系统相结合。因此,半导体制造商可以在开发阶段、产品认证和生产过程中执行可靠且可重复的晶圆上器件表征。
5G射频前端设计人员旨在确保适当的射频能力以实现频率覆盖和输出功率,同时优化能效。此过程中的一个重要阶段是调查RF设计,以尽早获得有关设计的反馈,并评估晶圆级的性能和功能。在晶圆上环境中表征DUT需要一个测量系统,其中包括矢量网络分析仪(VNA)、探针台、RF探针、电缆或适配器、专用校准方法以及特定DUT或应用的校准基板。
为执行这些基本测量,罗德与施瓦茨提供了高端R&SZNA矢量网络分析仪,该分析仪可表征同轴和波导级别的所有射频认证参数,以及适用于67GHz以上应用范围的频率扩展器。FormFactor通过手动、半自动和全自动探针系统解决晶圆接触问题,包括热控制、高频探针、探针定位器和校准工具。FormFactorWinCalXE校准软件完全支持整个测试系统的校准,包括R&SZNA。
在测试设置中,由于完全校准设置,用户可以使用R&SZNA的所有测试功能。通用S参数测试允许对滤波器和有源器件进行表征,但也可以执行失真、增益和互调测试来对功率放大器进行鉴定。对具有跨器件带宽相位表征的混频器的频率转换测量是联合解决方案支持的测量应用的另一个示例。完全校准的设置还允许直接从VNA获取所有结果,无需后处理,因为校准数据直接应用于VNA。
罗德与施瓦茨的频率扩展器开辟了亚太赫兹频率,例如D波段,目前是6G研究的重点。扩展器将集成到探针台中,以确保最短的电缆连接并实现最佳动态范围,同时避免因电缆连接到探头尖端而造成的损失。
如果您也有仪器仪表需要维修或有技术问题咨询,可以来咨询罗德与施瓦茨,我们将竭诚为您服务!